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无尘室也以称为洁净室或净化室。它是控制污染的基础,如果没有无尘室,污染敏感零件不可能批量生产。无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
净化工程在一定空间范围内,将空气中的微粒子、有害空气、等污染物排除,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。
净化工程所特别设计的房间,不论外在空气条件如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。
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